CIM 사이트 용어 정리
- --------[FA 자동화]--------/반도체 용어 정리
- 2018. 5. 17. 14:02
CIM 용어 정리
NG (No Good) – Reject Port 라고 생각하면 된다. (Cell(Panel) 검사 진행 후, 버려야 될 Cell일 때)
Buffer – 설비 쪽에 물리적으로 위치해 있는 것으로써 임시로 Cassette 및 Cell들을 넣어 놓는 곳(언제든 넣었다가 뺄 수가 있다. )
Teaching – 정확한 Position 값에 맞추어 주는 것이다. (ex - 로봇 팔을 왼쪽으로 몇mm 이동하고 다시 아래로 몇mm…)
CSTID – Cassette 에 대한 정보(어떤 Cassette에 대한 고유 정보)
CST – Cassette
BCR – Bar Code Reader
VCR – Veri Code Reader
Job Cancel – 설비에서 작업을 시작하기 전 멈추는 것이다.
Job Abort – 설비에서 작업을 시작 후, 진행 중 어떠한 이유로 인해 중간에 멈추는 것이다.
Tact Time – 설비에서 어떠한 작업들을 시작하여 마치는 시간
PPID – 자동화(HOST) 관점에서 보는 Recipe ID
ECellID – MCR로 찍어서 나온 Cell ID
InnerID – Cell을 뺀 시간을 가지고 임시로 만든 ID (CIM에서 만들어 주는 것이다.)
HCellID – 자동화(HOST)에서 보고받은 Cell ID
PALLET – Aging 장비에서 Cell을 검사할 때, Cell에 전기를 주어서 검사를 해야 하지만 Aging 장비 자체에서는 전기를 주지 못하여 중간에 PALLET 장치를 이용하여 검사를 진행한다. (PALLET 안에는 여러 개의 Cassette가 들어가 있다.)
CIM Judge – 최종 판정 값
SCRAP – Cell(Panel)이 깨지거나 문제가 생겨서 강제로 설비에서 빼는 것이다.
ECID – Equipment Constant ID (상수 값이라고 무조건 변하지 않는 것은 아니지만, 설비에서 작업이 진행하는 동안에는 ECID가 변하지 않는다.)
Operator Call (OPCall) – 자동화(HOST)에서 CIM으로 보내주는 메시지
Cell Total Count – Port에 적재되어 있는 모든 Cell들의 수량
Pallet Channel – Pallet의 위치
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